Сайт переехал physreal.com

НОВОСТИ

Все категории НОВОСТИ ФИЗИКИ         НАУКУ ДЕЛАЮТ ЛЮДИ         ГРАНТЫ, ОЛИМПИАДЫ, КОНКУРСЫ И СТИПЕНДИИ         ЗНАЕТЕ ЛИ ВЫ ЧТО...         ПРИБОРЫ, НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЕ РАЗРАБОТКИ         ПРОГРАММНЫЕ ПРОДУКТЫ         КОНФЕРЕНЦИИ, СЕМИНАРЫ, ШКОЛЫ И ФОРУМЫ         ФИЗИКИ ШУТЯТ         НОВОСТИ НАШЕГО ЖУРНАЛА         --- НАСА РЕОЛОГИЯ АСТРОФИЗИКА ЭКСПЕРИМЕНТ НАНОТЕХНОЛОГИИ ОТКРЫТИЕ ЛАЗЕРЫ ТЕХНОЛОГИИ МАГНЕТИЗМ КВАНТОВЫЕ СИСТЕМЫ СВЕРХПРОВОДИМОСТЬ ФУЛЛЕРЕНЫ И НАНОТРУБКИ ЭКОЛОГИЯ РОБОТОТЕХНИКА ГЕОФИЗИКА БИОФИЗИКА ЭЛЕКТРОНИКА ГИДРОДИНАМИКА ОПТИКА МЕТРОЛОГИЯ ФИЗИКА ЭЛЕМЕНТАРНЫЙ ЧАСТИЦ СПИНТРОНИКА OK Экспорт новостей в формате RSS по выбранным категориям

2013-07-08 09:53:46, обсуждение: 0
НОВОСТИ ФИЗИКИ | ТЕХНОЛОГИИ

Новая технология микроскопии облегчит разработку и обеспечит контроль производства трехмерных полупроводниковых чипов

Ученые из Национального института стандартов и технологий (National Institute of Standards and Technology, NIST) модернизировали разработанную ими несколько лет назад технологию оптической микроскопии и приспособили ее для обеспечения обзора наноразмерных объектов, что позволяет произвести контроль производства элементов трехмерных полупроводниковых чипов нового поколения.

С помощью этой технологии, называемой TSOM (Through-Focus Scanning Optical Microscopy), можно не только рассмотреть наноразмерные компоненты чипов, которые до недавнего времени были двухмерными конструкциями, ни и с достаточно высокой точностью определить различия в их формах и размерах, что и требуется для проведения технологического контроля.

Новые поколения полупроводниковых чипов имеют в своем составе трехмерные элементы, которые накладываются друг на друга. Для правильной и надежной работы чипа в целом требуется, чтобы все компоненты имели правильные формы и строго заданные габариты. Существующие методы микроскопии, электронной, атомно-силовой и другие, могут обеспечить контроль формы и размеров элементов чипа, но сделают это крайне медленно, с риском нанести повреждения хрупкой структуре чипа и стоят крайне дорого. А использование оптических методов микроскопии ограничивается тем, что размеры элементов чипов намного меньше половины длины волны света видимого диапазона (250 нанометров для зеленого света), поэтому оптический микроскоп физически не может увидеть столь маленькие объекты.

Рис. 1.

Технология TSOM позволяет увидеть оптическим способом объекты, размеры которых приблизительно равны 10 нанометрам, а в перспективе и еще меньше. В методе TSOM используется обычный оптический микроскоп, который делает не один, а множество расфокусированных двухмерных снимков интересующего объекта с нескольких точек зрения. Используя изменения яркости с этих расфокусированных снимков компьютер вычисляет градиенты света и определяет границы снимаемых объектов, создавая таким образом результирующее трехмерное изображение.

Изображения, получаемые с помощью метода TSOM несколько абстрактны, но детали, которые на них видны, позволяют с достаточно высокой точностью определить различия в формах и размерах компонентов полупроводниковых чипов.

«Наши исследования показали, что с помощью метода TSOM мы можем рассмотреть элементы, размерами около 10 нанометров, чего вполне достаточно для обеспечения контроля технологических процессов производства полупроводников на ближайшее десятилетие» – рассказывает Рэвикирэн Аттота (Ravikiran Attota), ученый из NIST, – «Кроме этого, технологию TSOM можно будет использовать не только в электронной промышленности, но и в других отраслях промышленности, в науке и везде там, где требуется производить анализ и контроль форм крошечных трехмерных объектов».

Источник(и):

1. dailytechinfo.org

2. kurzweilai.net

nanonewsnet.ru

• БАК остро нуждается в детекторах для фиксирования элементарных частиц
• Эффект рождения гидродинамических потоков от ультразвуковых волн
• Создан безмагнитный кремниевый циркуляционный чип для диапазона миллиметровых волн
• Физики из Национального института стандартов и технологий (США) добились одновременной квантовой запутанности сразу 219 ионов бериллия (9Be+)
• Новый метод получения пучка спин-поляризованны позитронов
• Спутники Европейского космического агентства зафиксировали плазмосферный ветер
• Столкновение с Андромедой опровергает теорию Эйнштейна и существование темной материи
• Зафиксированы четыре вспышки Лоримера неизвестной природы
• Видео. Президиум РАН, выступление председателя профсоюза РАН Калинушкина перед СМИ, 01.07.2013
• Реакция физиков на реформу государственных академий наук в России