|
|
Контакты | Главная | Стартовая | Избранное | Поиск |
2008-03-03 11:11:25, обсуждение: 0
Учёные из Франции создали методом электронной литографии в виде сопланарных полосок транзистор на основе углеродной нанотрубки с двумя симметрично расположенными верхними затворами на окисленной высокорезистивной подложке из кремния (сопротивление 3-5кОм). Нанотрубки были получены обычным CVD-методом с применением наноструктурного катализатора. Палладиевые контакты были напылены после многоступенчатого процесса окисления алюминия (толщина окисленного слоя 6 нм), а затем были осаждены затворы из золота. Схема такого устройства представлена на рис.1. В ходе работы авторы установили, что большая крутизна характеристики прямой передачи полевого транзистора на основе углеродных нанотрубок сохраняется вплоть до частот 1,6 ГГц. Также было показано, что высокая чувствительность остаётся практически неизменной и что ёмкость затвора соотносится с его протяжённостью вплоть до размеров ~300 нм. Авторы ожидают, что в скором будущем подобные полевые транзисторы на основе углеродных нанотрубок можно будет использовать в качестве сенсоров с очень малым временем реакции.
Смирнов Евгений Алексеевич
• БАК остро нуждается в детекторах для фиксирования элементарных частиц
|